機(jī)械泵的極限真空度產(chǎn)生的原因及克服
發(fā)布時(shí)間：2016年09月06日 09:12 閱讀：11384
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澤德
機(jī)械泵的極限真空度可以達(dá)到10-1 Pa，這取決于以下三個(gè)方面的原因。
(1)機(jī)械泵的定子空間中兩空腔間的密封性。這是因?yàn)閮蓚€(gè)空腔中一個(gè)為大氣，另一個(gè)為極限壓強(qiáng)，密封不好將直接影響到極限壓強(qiáng)。
(2)排氣口附近有一個(gè)“死角”空間，在旋片移動(dòng)時(shí)它不可能趨于無(wú)限小，因此不能有足夠的壓力去頂開排氣閥門。
(3)泵腔內(nèi)密封油有一定的蒸汽壓。
由于定子密封性不可能達(dá)到完全密封，(2)和(3)屬于客觀因素不易改變，所以機(jī)械泵就存在一個(gè)極限真空度。通過(guò)改進(jìn)裝置的定子的密封性，改裝裝置盡量減小“死角”空間，對(duì)泵腔內(nèi)的密封油進(jìn)行處理，減小蒸氣壓等方法，可以提高機(jī)械泵的真空度，但無(wú)法最終克服。
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