真空泵泵常見的真空抽取技術(shù)的種類

　　1.機(jī)械法

　?、僮?nèi)菡婵毡?，它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。往復(fù)式真空泵、旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵、液環(huán)真空泵、干式真空泵、羅茨真空泵屬于這一類。

　?、趧?dòng)量傳輸泵，它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。分子真空泵水蒸汽噴射泵、擴(kuò)散泵屬于這一類。

　　2.物理法

　　氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，可分為以下幾種形式。

　　①吸附泵。它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。例如分子篩吸附泵。

　?、谖鼩鈩┍谩Ｋ且环N利用吸氣劑以化學(xué)方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如，鈦升華泵和鋯鋁吸氣泵屬于這種類型。

　?、畚鼩鈩╇x子泵。它是使被電離的氣體通過電場或電磁場的作用吸附在吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下兩種形式。

　　a．蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。例如，軌旋式離子泵(或稱彈道式鈦泵)。

　　b．濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺散出來的吸氣材料上以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。

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