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油擴散泵的使用操作規(guī)程

發(fā)布時間:2016年02月28日 09:03   閱讀:9916   返回   來源:澤德

  油擴散泵的操作包括開泵、停泵兩個做要得動作。

  (1)油擴散泵的開泵順序

 ?、俳油〝U散泵的冷卻水,用機械泵預抽真空,在擴散泵人口壓力低于10-1Pa后,接通擴散泵加熱電爐的電源,對擴散泵加熱。

 ?、趯τ贙-400以下的小泵,加熱45min后泵可正常工作,K-500~K-1200的大泵,需加熱45~65min后才能正常工作。因此,在使用擴散泵真空系統(tǒng)時,應注意安排好擴散泵的啟動時間。

 ?、鄞蜷_擴散泵人口閥門,泵即可正常工作。

  (2)油擴散泵的停泵順序

 ?、訇P閉擴散泵人口高真空閥門和真空計的電源。

 ?、谇袛鄶U散泵加熱電源,機械泵繼續(xù)工作。

 ?、墼俟ぷ?0min(小泵)到2h(大泵)以后,關閉擴散泵與機械泵之間的閥門,停止機械泵工作,并向機械泵內(nèi)放人空氣(如果機械泵入口裝有電磁放氣閥,在切斷機械泵電源后,會因電氣連鎖而自動放氣)。

 ?、墚敱玫挠湾仠囟冉咏?0~60℃后,關閉擴散泵的冷卻水。

 ?、轂榧涌鞌U散泵冷卻,可以卸下電爐,采用噴淋水的方法冷卻?,F(xiàn)代大型擴散泵都在油鍋外壁設有急冷水管(或套),泵正常工作時不通水,切斷電源時通水急冷。

  (3)操作注意事項

 ?、贁U散泵內(nèi)油溫較高時,不允許放人大氣,以防泵油氧化變質(zhì),影響正常工作。停泵時應保持泵內(nèi)處于真空狀態(tài)。

  ②長期停泵時,水冷管(套)內(nèi)的冷卻水應放盡,并用壓縮空氣吹干。

 ?、蹤C械泵停止工作同時從泵入口放氣,以免機械泵油流入擴散泵內(nèi)?,F(xiàn)代擴散泵機組都設計有電磁放氣閥,停泵時自動放氣。

 ?、軘U散泵正常工作后,才可以打開人口高真空閥,停泵時先關高真空閥,以減少返流泵油,避免污染被抽容器。

 ?、輵_認冷卻水暢通,泵內(nèi)真空度大于1Pa時才能對擴散泵加熱。定期檢查泵油,及時加注或更換油。

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