低溫冷凝泵的主要特點及應(yīng)用范圍
發(fā)布時間：2016年01月18日 09:33 閱讀：5549
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澤德
低溫冷凝(吸附)泵(低溫泵)是采用液氦或制冷機循環(huán)氣氦作冷卻介質(zhì)，利用低溫表面將被抽空間的氣體冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附，使被抽空間的壓力大大降低，從而獲得并維持潔凈的真空狀態(tài)的抽氣裝置。低溫泵抽氣是一種儲存式捕集排氣，它所抽走的氣體不是直接排到泵外，而是儲留在泵內(nèi)，一旦冷凝表面溫度發(fā)生變化，它所抽走的氣體又會重新放出，而破壞泵的正常工作。
低溫泵的特點是：
(1)抽氣壓力范圍寬，其抽氣工作壓力范圍為lo-1～10-12Pa。
(2)起始壓力高(原則上可從大氣壓開始抽氣)，極限壓力低，極限真空度可達到10-13Pa。
(3)抽氣速率大，對于20℃空氣，低溫泵的最大抽氣速率可達106L/s(11.6L(S·cm2))。
(4)抽氣種類廣，低溫泵可以抽除各種氣體，獲得清潔的超高真空。特別適合應(yīng)用在抽除可凝性氣體及氣體負荷大，真空度要求高的場合。
(5)泵的結(jié)構(gòu)形式靈活，低溫吸氣面可以作成插入式，用于無法布置其他類型泵的場合，使得泵結(jié)構(gòu)設(shè)計的自由度增大。
(6)作為大容量的排氣系統(tǒng)，占地面積小。但是，低溫泵運行時需要制冷劑或制冷設(shè)備。
低溫泵的應(yīng)用范圍相當廣泛：
(1)外層宇宙空間模擬。在空間科學(xué)技術(shù)中，宇宙空間存在著真空和低溫狀態(tài)，外層空間的真空度可達10-14Pa，溫度為3K左右。因此，低溫泵是宇宙空間模擬的理想抽氣設(shè)備。此外，研究空間條件下材料表面現(xiàn)象、低壓空氣動力學(xué)試驗、火箭發(fā)動機高空點火試驗、空間生物技術(shù)等，都用到低溫泵。
(2)應(yīng)用在高能物理、等離子體研究中。
(3)應(yīng)用在薄膜制備領(lǐng)域。
(4)應(yīng)用在微電子學(xué)，尤其是半導(dǎo)體微電子技術(shù)，如離子注入、離子刻蝕等。
(5)應(yīng)用在現(xiàn)代表面分析儀器中。
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